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氮化鋁陶瓷晶圓載盤
  • 氮化鋁陶瓷晶圓載盤
產(chǎn)品名稱

氮化鋁陶瓷晶圓載盤
加工精度 0.01mm
是否定制 可按圖紙定制
粗糙度 0.1μm
材料成分 氮化鋁陶瓷
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！
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氮化鋁晶圓載體是用于在半導(dǎo)體設(shè)備（如沉積、刻蝕或熱處理）步驟中運送晶圓的載體。它可以通過靜電吸附技術(shù)固定晶圓，防止晶圓翹曲變形。常見的有通用的12英寸300毫米氮化鋁晶圓載體和定制的氮化鋁晶圓載體。氮化鋁陶瓷具有超高導(dǎo)熱性、電絕緣性、無毒環(huán)保，還可以加工成復(fù)雜形狀（靜電吸盤、加熱器、夾具、臂等部件）。

我們是一家專業(yè)的超硬陶瓷材料制造商，在氮化鋁陶瓷加工方面擁有豐富的經(jīng)驗。無論您需要為您的項目訂購板材、棒材、管材、晶圓載體、導(dǎo)熱板還是其他定制氮化鋁 (AIN) 組件，都可以聯(lián)系我們的專家進(jìn)行免費咨詢，我們將竭誠為您提供服務(wù)。

氮化鋁晶圓載體的主要特點

導(dǎo)熱系數(shù)高達(dá)170W/m·K，可有效為半導(dǎo)體器件散熱
絕緣性能良好，可防止靜電損壞器件
耐化學(xué)腐蝕，可在惡劣環(huán)境下使用
尺寸穩(wěn)定性高，可精確定位
適用于精密加工，支持復(fù)雜形狀
無毒環(huán)保

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