,,

當(dāng)前位置：首頁(yè) > 應(yīng)用領(lǐng)域 > 半導(dǎo)體設(shè)備 >

在半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)、OLED/LCD 面板傳輸、真空腔體輸送等移載傳送設(shè)備中，碳化硅（SiC）導(dǎo)軌憑借其獨(dú)特性能，在高速、潔凈、高精度的運(yùn)行環(huán)境中發(fā)揮著關(guān)鍵作用：

1. 高剛性支撐與精準(zhǔn)定位
SiC 導(dǎo)軌具有極高的楊氏模量（~400 GPa），剛性遠(yuǎn)超金屬或工程塑料。

可在高速搬運(yùn)機(jī)械臂中保持微米級(jí)定位精度與軌跡重復(fù)性，減少形變量和振動(dòng)影響。

特別適用于高精度搬運(yùn)臂、線性滑臺(tái)和交叉滾柱滑軌結(jié)構(gòu)中。

2. 耐磨損、長(zhǎng)壽命運(yùn)行
硬度高（Mohs 9+）、抗劃傷、耐微粒沖刷，適合長(zhǎng)期在無(wú)潤(rùn)滑或微潤(rùn)滑工況下運(yùn)行。

在低顆粒潔凈室環(huán)境（如 ISO Class 1–5）中，不易產(chǎn)生二次污染。

3. 熱穩(wěn)定性優(yōu)異
熱膨脹系數(shù)低（~4.2×10??/K），在熱循環(huán)或熱負(fù)載變化時(shí)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不易發(fā)生熱脹冷縮變形。

在加熱傳輸設(shè)備、真空熱處理腔體內(nèi)也能維持軌道精度。

4. 化學(xué)惰性，適合真空／腐蝕環(huán)境
SiC 抗腐蝕性能強(qiáng)，可在含氟、含氯等腐蝕性氣體環(huán)境中運(yùn)行，適合半導(dǎo)體刻蝕、CVD、清洗后段制程設(shè)備。

在高真空或潔凈腔體中運(yùn)行，不脫氣、不析出、低顆粒，是傳統(tǒng)金屬軌道的優(yōu)質(zhì)替代。

碳化硅導(dǎo)軌與傳統(tǒng)材料對(duì)比

材料	剛性	導(dǎo)熱性	熱膨脹	耐磨性	顆粒釋放	適用環(huán)境
鋁合金	中	中	高	差	易氧化	普通環(huán)境
不銹鋼	高	低	中	一般	易磨屑	腐蝕性氣體差
PEEK/塑料	低	低	高	差	易變形	低溫環(huán)境
SiC	極高	高	極低	優(yōu)	極低	潔凈室 / 真空 / 腐蝕

本文標(biāo)簽: 移載傳送設(shè)備陶瓷零件碳化硅陶瓷導(dǎo)軌

精密陶瓷制造商