產品名稱 | 倒裝芯片鍵合機碳化硅真空吸盤 |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 可按圖紙定制 |
粗糙度 | 0.1μm |
材料成分 | 碳化硅陶瓷 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
立即咨詢
0769-82913501 |
倒裝芯片鍵合機是一種常見的半導體封裝設備,其功能是將芯片翻轉并直接鍵合到基板上。碳化硅真空吸盤專為倒裝芯片鍵合工藝設計,利用真空壓力將晶圓或芯片牢牢吸附。
碳化硅真空吸盤在倒裝芯片鍵合機系統(tǒng)中的作用
1. 工件夾持
無需使用傳統(tǒng)的物理夾持,可避免工件損壞、消除滑移并實現高精度定位
2. 熱管理
碳化硅陶瓷具有良好的散熱性、尺寸穩(wěn)定性、導熱性,并且能保持均勻加熱
為什么真空吸盤采用碳化硅?
可承受 1000°C 高溫而不變形,同時保持尺寸穩(wěn)定性
SiC 卡盤具有 120–200 W/m·K 的高熱導率
SiC 陶瓷具有高機械強度和硬度
SiC 材料對工業(yè)化學品(例如助焊劑、清潔劑)具有良好的耐受性