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在半導(dǎo)體制造中,氧化鋁對準環(huán)/支撐環(huán)廣泛用于等離子蝕刻、薄膜沉積、晶圓清洗等工藝。其作用主要包括
1. 晶圓對準/定位環(huán)
作用：幫助晶圓在蝕刻、沉積或清洗等過程中保持精準位置；

特征對應(yīng)：外圍的等距凹槽/突齒可能與腔體或設(shè)備中的其他結(jié)構(gòu)“卡扣配合”，從而實現(xiàn)快速定位；

氧化鋁陶瓷可耐高溫、耐腐蝕，適合等離子體環(huán)境。

2. 晶圓傳輸夾具或支撐環(huán)
作用：作為晶圓托盤上的支撐或緩沖結(jié)構(gòu)，用于穩(wěn)定承載晶圓；

中間大孔適合通晶圓，外圍結(jié)構(gòu)用于卡住或限制移動。

3. 等離子蝕刻/沉積反應(yīng)腔中的消耗件（Consumable Component）
作用：安裝在反應(yīng)腔內(nèi)，接觸或靠近等離子體，用于提供結(jié)構(gòu)支撐或電氣隔離；

開口/缺口：用于讓氣體通道、電極或探針穿過的設(shè)計，屬于定制功能結(jié)構(gòu)。

陶瓷吸片實拍圖

陶瓷吸片從原材料到成品需要運用很多工藝，工序繁多、技術(shù)難點大。鈞杰陶瓷在吸片精密加工這一領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗，我們從陶瓷燒結(jié)到精密加工生產(chǎn)等工序全程嚴密把控，確保吸片的品質(zhì)過硬。

本文標簽: 定制氧化鋁陶瓷部件半導(dǎo)體陶瓷元件等離子蝕刻用陶瓷環(huán)

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