產(chǎn)品名稱 | 氮化鋁陶瓷加熱盤 |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 可按圖紙定制 |
粗糙度 | 0.1μm |
材料成分 | 氮化鋁陶瓷 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
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氮化鋁(AlN)導熱盤因其高熱導率、高電絕緣性和良好機械強度,被廣泛應用于半導體領域
高效熱管理
晶圓加熱/冷卻盤
在化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)或退火爐中,AlN 導熱盤均勻傳導加熱器產(chǎn)生的熱量,保證爐內(nèi)溫度分布均勻,進而提升薄膜均勻性與工藝重復性。
功率器件散熱基座
在功率半導體(SiC、GaN MOSFET、IGBT 模塊)封裝中,AlN 基板將器件產(chǎn)生的熱量迅速傳導至散熱器或外部冷卻系統(tǒng),降低結-殼溫差,提升器件可靠性與使用壽命。
氧化鋁是最靈活和廉價的材料。而氧化鋁陶瓷是氧化物陶瓷中應用最廣、用途最寬、產(chǎn)量最大的陶瓷材料氧化鋁陶瓷的熱壓產(chǎn)品可達500MPa。Al2O3陶瓷的莫氏硬度可達到9,加上具有優(yōu)良的抗磨損性能等,所以廣泛地用于制造刀具、球閥、磨輪、陶瓷釘、軸承等。鈞杰陶瓷專業(yè)生產(chǎn)各種陶瓷材料的結構件,異形件,是專業(yè)的陶瓷加工企業(yè)。氧化鋁陶瓷手臂是我們比較常見的產(chǎn)品。